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郑州雕刻玻璃加工厂无尘车间温度是多少

发布日期:2019-01-16 09:36:01 | 访问量:301次浏览 | 分类:常见问题

玻璃加工厂无尘室的温度控制在20~25度,湿度控制在45%~65%之间,75%有点高,另外还要考虑无尘室的级别。具体可以咨询湖南纯臻净化工程,专业做无尘室净化工程设计施工,涉及行业:微电子、医疗器械、印刷包装、无菌室、恒温恒湿实验室、食品、化妆品、玻璃厂、汽车工业、印刷包装、光学广电等。

净化车间温度作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0。24um线性膨胀,所以必须有±0。1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种无尘车间不宜超过25度。

无尘车间湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。

此外,无尘车间湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产最佳温度范围为35—45%。

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